ガルバノメーター光学スキャナー/ドライバー/ドライブボード

ガルバノシステムは、駆動基板、ガルボ、スキャンミラーから構成される高精度・高速サーボ制御システムで、主にレーザーマーキング、レーザー彫刻、舞台照明制御などに使用されます。

このシステムの動作原理は、位置信号を入力すると、揺動モーター（ガルバノメータ）が一定の電圧と角度の変換比に従って一定の角度だけ揺動するというものです。プロセス全体には閉ループフィードバック制御が採用されており、位置センサー、エラーアンプ、パワーアンプ、位置弁別器、電流積分器の5つの制御回路/部品によって共同して動作します。

当社が製造する OSST シリーズ検流計システムは、最新世代の集積回路を利用し、回路基板を駆動するためにさまざまな干渉防止方式を採用しています。このシステムは、強力な抗干渉能力、高い信頼性、優れた直線性、高い繰り返し精度、短い応答時間を備えているだけでなく、サイズが小さく、設置や輸送が簡単です。

部品番号	OSST8162	OSST8161	OSST8063
光学絞りをサポート、2 軸	≦8mmビーム	ビーム10mm以下	≦12mmビーム
スモールステップ応答時間	0.2ms@5mmビーム	0.3ms@10mmビーム	0.6ms@12mmビーム
機械的最大回転角	±20°～30°	±20°	±20°
直線性	99.9% @±20°	99.9%@±20°	99.9%@±20°
ピーク電流	5A	5A	10A
コイル抵抗	3Ω±10%	1.8Ω±10%	2Ω±10%
コイルのインダクタンス	180μH±10%	280μH±10%	260μH±10%
動作温度	0℃～40℃	0℃～40℃	0℃～40℃
動作温度（オプション）	-40—﹢85	-40—﹢85	-40—﹢85
重さ	80g	105g	180g
ローター慣性モーメント	0.125g・cm2	0.34g・cm2	1.2g・cm2
トルク定数	5.1N・mm/A	7.3N・mm/A	12N・mm/A
最大。実効値電流	2.1A	2.5 5A	3.52A
ケーブル込みの重量	72g	263g	340g
コネクタ	C3030F-2*4	C3030F-2*4	C3030F-2*4
負荷慣性	0.1g・cm2～0.54g・cm2	0.3g・cm2—1.52g・cm2	1.0g・cm2—6g・cm2
次のエラー	0.11ミリ秒	0.142ミリ秒	0.22ミリ秒
寸法	D15×31+D15.4×11mm	D22X36+D31x8.6+D21x9mm	D22x36+D31x8.6+D21x9mm
ミラーの厚さ	2.1mm	2.1mm	2.1mm
応用	舞台照明、レーザーアニメーション	超高速フライングマーキング、超高速オンラインラピッドマーキング	超高速フライングマーキング、超高速オンラインラピッドマーキングメタル、非金属精密レーザーマーキング、レーザーラピッドプロトタイピング、レーザー抵抗調整、レーザーレーダーなど

部品番号	OSST8166	OSST8168	OSST8061
光学絞りをサポート、2 軸	1～6mmビーム	1～10mmビーム	20～25mmビーム
スモールステップ応答時間	0.3ms@5mmビーム	0.3ms@5mmビーム	0.7ms@20mmビーム
機械的最大回転角	±20°	±20°	±20°
直線性	99.9% @ ±20°	99.9%@±20°	99.9% @ ±20°
ピーク電流	1.5A	1.5A	6A
コイル抵抗	2.3Ω±10%	2.3Ω±10%	2.1Ω±10%
コイルのインダクタンス	420μH±10%	420μH±10%	360μH±10%
動作温度	0℃～40℃	0℃～40℃	0℃～40℃
動作温度（オプション）	-40—﹢85	-40—﹢85	-40—﹢85
重さ	26g	26g	210g
ローター慣性モーメント	0.028g・cm	2.25N・mm/A	5.1g・cm2
トルク定数	2.25N・mm/A	2.25N・mm/A	22N・mm/A
最大。実効値電流	1.8A	1.8A	5A
ケーブル込みの重量	49g		425g
コネクタ	C3030F-2*4	PHD2*4	C3030F-2*4
負荷慣性	0.02g・cm2～0.05g・cm2	0.02g・cm2～0.05g・cm2	8g・cm2—24g・cm2
次のエラー	0.11ミリ秒	0.15ミリ秒	0.35ミリ秒
寸法	D10x16+D13x3+D15x10.5mm	D15×8+D14×15	D28x58+D36x15+D25x5mm
ミラーの厚さ	1.0mm	1.mm	3.0mm
応用	高速オンラインフライングマーキング、高速高精度スタティックマーキングなど	高速オンラインフライングマーキング、高速高精度スタティックマーキングなど	精密レーザーマーキング、レーザーラピッドプロトタイピング、レーザー抵抗変調、レーザーレーダーなど

部品番号	OSST3808	OSST3860
光学絞りをサポート、2 軸	25-50mmビーム	30-60mmビーム
スモールステップ応答時間	1.2ms@25mmビーム	1.3ms@30mmビーム
機械的最大回転角	±20°	±20°
直線性	99.9%@±20°	99.9%@±20°
ピーク電流	7.6A	9.6A
コイル抵抗	2Ω±10%	2Ω±10%
コイルのインダクタンス	260μH±10%	260μH±10%
動作温度	0℃～40℃	0℃～40℃
動作温度（オプション）	-40—﹢85	-40—﹢85
重さ	520g	520g
ローター慣性モーメント	6.25g・cm2	8.2g・cm2
トルク定数	28N・mm/A	31・mm/A
最大。実効値電流	6.3A	12A
ケーブル込みの重量	520G	520G
コネクタ	C3030F-2*4	C3030F-2*4
負荷慣性	12g・cm2—24g・cm2	12g・cm2—35g・cm2
次のエラー	0.28ミリ秒	0.35ミリ秒
寸法	D38X76+D36x5+D25x5mm	D38x76+D35x5+D25x5mm
マウント径鏡の	7mm	7mm
応用	精密レーザーマーキング、レーザーラピッドプロトタイピング、レーザー抵抗変調、レーザーレーダーなど	精密レーザーマーキング、レーザーラピッドプロトタイピング、レーザー抵抗変調、レーザーレーダーなど

部品番号	OSST1520-20	OSST1520-15
光学絞りをサポート、2 軸	ビーム10mm以下	ビーム10mm以下
スモールステップ応答時間	0.3ms@10mmビーム	0.3ms@10mmビーム
機械的最大回転角	±20°	±20°
直線性	99.9%@±20°	99.9%@±20°
ピーク電流	5A	5A
コイル抵抗	1.62Ω±10%	1.8Ω±10%
コイルのインダクタンス	103μH±10%	280μH±10%
動作温度	0℃～40℃	0℃～40℃
動作温度（オプション）	-40—﹢85	----
重さ	105g	33g
ローター慣性モーメント	0.34g・cm2	0.34g・cm2
トルク定数	7.5N・mm/A	7.5N・mm/A
最大。実効値電流	2.5A	2.5A
ケーブル込みの重量	263g	ソケット
コネクタ	PHD2*4	PHD2*4
負荷慣性	0.35 —1.5 g・cm2	0.35 —1.5 g・cm2
次のエラー	0.15ミリ秒	0.15ミリ秒
寸法	D20×26+D15×11mm/37mm	D15×26+D15×11mm/37mm
ミラーの厚さ	2.0mm(貼り付け用)	2.0mm(貼り付け用)
応用	超高速フライングマーキング、超高速オンラインラピッドマーキング	超高速フライングマーキング、超高速オンラインラピッドマーキング

備考：

• すべてのガルボはクロムコーティングされたカバーです。
• ご要望に応じて、1064nm、532nm、355nm、266nm、10.6umなどのレーザー波長のスキャンミラーも利用可能です。

OSSTシリーズドライバー（ドライブボード）

OSST シリーズ ガルバノには 2 種類のドライブ ボードがあります。1 つのボードで 2 つのガルボを駆動します (1 対 2 ボードまたは単にボードと呼ばれ、デフォルト)。1 つのボードで 1 ガルバノを駆動します (1 対 1 ボード)。走行能力や主な性能は同じです。主な違いは寸法です。

一般仕様:

• 供給電源: ±15VDC ～ ±24VDC
• アナログ入力位置信号: ±5V (デフォルト)、ご要望に応じて ±10V も利用可能。
• 位置信号出力（オプション）：1:1ポート、1:10ポート。

1. 1対2ボード

1.1 位置出力信号なしの 1-to-2 ボード (OSST-D)

このドライバーは主に 2D レーザー マーキング/スキャンで使用されます。

1.2 位置信号出力付き 1-2 ボード (OSST-D-PO)

2. 1対1ボード

位置信号出力付き1-2ボード(OSST-D-1-PO)

位置信号出力は2系統あります。

3. OSCTシリーズ光学検流計

当社の幅広い閉ループ検流計ベースの光学走査コンポーネントおよびシステムは、システム インテグレータに、あらゆる位置決めまたは走査要件に対応する最大の検流計ベースのパフォーマンスを提供します。当社の優れた位置決め性能は、高度なアクチュエータ設計、革新的な特許取得済みの位置検出技術、一貫した高品質の製造プロセス、およびガルバノ技術の進歩への継続的な取り組みから生まれています。当社の広範なスキャン オプション、アプリケーションの専門知識、および世界規模の技術サポートにより、科学および OEM 光学システム アプリケーションにおけるお客様のパートナーとなる準備ができています。

当社の優れた測位システムのパフォーマンスと同じくらい重要なのは、システムと市場での長期的な成功に必要な製品の信頼性、寿命、サポートです。優れた製品寿命と信頼性は、規律ある設計技術とシミュレーション、最高のベアリングとコンポーネント技術、高品質の製造プロセスと仕上がりから生まれます。当社は、製品の性能と長寿命に大きな誇りを持っています。当社の製造プロセスにおけるこれらの高い基準は、今日の競争の激しい市場で要求される高品質のシステムを設計するために必要なパフォーマンスの一貫性を保証します。
当社は、価格とパフォーマンスのオプション、システム設計の柔軟性、統合の容易さを最大限に高めるため、閉ループ検流計、サーボ ドライバー、およびシステム オプションの完全な範囲を提供しています。

光学検流計

• 独自のムービングマグネットアクチュエータテクノロジーにより、最高の位置決め速度を実現します。
• 最高の位置決め精度を実現する独自のムービングコイルアクチュエーターテクノロジー。
• 最高の位置決め精度と安定性を実現する特許取得済みの静電容量式位置検出器テクノロジー
• 特許取得済みの光学式位置検出器テクノロジーにより、低コストで位置精度を実現します。
• 製品の一貫性と信頼性により、システムの寿命と稼働時間を延長します。
• 1mm から 50mm までの開口部に最適なパフォーマンスを発揮するサイズの製品を幅広く取り揃えています。

これらのガルバノ技術は、3 つの光学スキャン製品ファミリーで提供されています。

• 高度な光学式位置検出器を備えたムービング マグネット スキャナ (6200H、6210H、6215H、6220H、6230H、6231H、6240H、6250H、6260H などの 62xxH シリーズ、および 8300K、8310K、8315K、8320K、8 などの 83xxK シリーズ) 330K、8331K、8340K 、8350K、8360K）
• 静電容量式位置検出器を備えたムービングマグネットスキャナ (モデル 6860、6870、6880)
• 静電容量式位置検出器付きムービングコイルスキャナ (モデル 6350、6450、6650、6900、6400)

サーボドライバー（ドライブボード）

主要なサーボ ドライバー テクノロジーと製品には次のものがあります。

• コンパクトなシステムサイズを実現する表面実装技術 (SMT) ドライバーボード。
• 最高の位置決め精度と安定性を実現する独自のクラス 1 統合サーボ ドライバー。
• 最高速度と最低コストを実現する独自のクラス 0 非統合サーボ ドライバー。
• システム統合を容易にするシステム制御およびインターフェース機能。

これらのサーボ テクノロジーは、アナログ バージョンとデジタル バージョンで提供されます。アナログ ドライバーには 670、671、672、673、677 シリーズが含まれ、デジタル ドライバーには DC900、DC2000、および D3000 plus が含まれます。

システムオプション

より完全なレベルのシステム統合とソリューションを実現するために、次のシステム コンポーネントとソリューションも提供します。

• 標準 2 軸 X/Y マウントおよびミラー セット 3mm ～ 50mm の開口部 (と呼ばれます)マーキングヘッドs、レーザースキャナー）。
• すべてのガルバノに対応した標準ミラーとカスタムミラー。
• 標準およびカスタムインターフェイスケーブル。
• PositionProtm PC ベースのハードウェアおよびソフトウェア ガルボ制御。

1. OSCTシリーズ 光学検流計

• 当社のムービング マグネット アクチュエータ テクノロジーと革新的な特許取得済みの高度な光学式位置検出器設計の組み合わせにより、最小で低コストの閉ループ検流計で最高の位置決め速度と優れた精度が実現します。スキャン システム アプリケーションは、1 ～ 3 mm の範囲の一般的なビーム直径で、速度、サイズ、コスト、精度を考慮して設計および最適化できます。

• ムービング マグネット スキャナの位置決め速度は、最高のシステム共振周波数と RMS 電力能力を実現する高度な検流計とアクチュエータの設計によって実現されています。当社の可動磁石アクチュエータ設計のより高い共振周波数、最先端のネオジム-鉄-ボロン磁石の強力な磁場強度、および当社の高度なサーボドライバオプションにより、優れたウォブルおよびジッタ性能を備えた優れたシステム帯域幅、ステップ応答時間、繰り返し率が可能になります。 。

• 当社の新しく特許を取得した高度な光学式位置検出器の設計は、可動磁石アクチュエータの位置決め精度と組み合わされて、優れた再現性と精度を実現します。高度な光学式位置検出器は、最小で最もコンパクトなパッケージで、時間や温度に対する高い位置決め直線性、再現性、安定性を実現し、閉ループガルボのコストを削減するように設計されています。

• 優れた製品寿命と信頼性は、規律ある設計技術、最高のベアリング技術、高品質の製造プロセスと仕上がりによってもたらされます。私たちは製品のパフォーマンスに大きな誇りを持っています。当社のスキャナ設計はコンピュータでモデル化されており、数十億サイクルの動作に対する寿命テストで証明されています。当社の高い製造品質基準は、今日の競争の激しい市場で求められる高品質のシステムを設計するために必要なパフォーマンスの一貫性を保証します。

1.1 62xxH シリーズ光学検流計

当社の人気の 62xxH シリーズの閉ループ、検流計ベースのスキャナは、常に業界をリードする高性能レーザー ビーム ステアリング ソリューションです。各モーターは、当社の可動磁石アクチュエーター技術と、ケンブリッジテクノロジーのみが提供する位置検出器を組み合わせています。この特許取得済みのテクノロジーは、安定した位置決めを実現しながら、このカテゴリで最速のスキャン速度を実現します。速度、精度、設置面積のいずれを重視する場合でも、62xxH シリーズはパフォーマンスと価値の両方を提供します。
価値重視のアプリケーションの高性能と信頼性を実現します。

• 業界最速のモーター速度により、長期的な信頼性を備えた最大のスループットを実現
• さまざまなアプリケーションのスキャンニーズに対応する高精度の出力
• 堅牢な設計により、長い製品寿命にわたって一貫した安定性をサポート
• コンパクトなモデルの設置面積により、狭いスペースでも簡単に統合できます
• 幅広いミラー サイズ (3 ～ 50 mm) とコーティング オプションが利用可能

部品番号	6200H	6210H	6215H	6220H
推奨口径サイズ(mm)	3～7	3～7	3～7	5～10
波長オプション	355 nm / 532 nm / 1030 nm - 1080 nm / 9.4 Ωm - 10.6 Ωm 広帯域コーティング: 350 nm – 12 Ωm
最大スキャン角度 (度)	40°	40°	40°	40°
ローター慣性モーメント (gm・cm2、±10%)	0.013	0.018	0.028	0.125
トルク定数 (dyne・cm/amp、±10%)	1.20x104	2.79x104	3.78x104	6.17x104
ローター最高温度 (°C)	110°	110°	110°	110°
熱抵抗 (ローターからケースまで) (°C/ワット、最大)	3.8	2.0	1.0	1.0
コイル抵抗 (オーム、±10%)	2.14	3.7	2.5	2.79
コイルインダクタンス (ΩH、±10%)	52	109	94	180
逆起電力電圧 (ΩV/°/秒、±10%)	20.9	48.7	66	108
RMS 電流 (A、Tcase = 50°C、最大)	2.3	2.4	4.1	3.9
ピーク電流 (A、最大)	6	8	20	20
小角度ステップ応答1 (標準)	3mm Yミラー 130Ω	3mm Yミラー 100Ω	3mm Yミラー 200Ω	5mm Yミラー 250Ω
重量 (グラム、標準)	13.3	18	25.8	42.5
寸法(mm)	12.7x29	12.7x37.3	12.7x53.8	15.3x52

部品番号	6230H	6231H	6240H	6250H	6260H
推奨口径サイズ(mm)	8～15	8～15	12～25	25～75	30～100
波長オプション	355 nm / 532 nm / 1030 nm - 1080 nm / 9.4 Ωm - 10.6 Ωm 広帯域コーティング: 350 nm – 12 Ωm
最大スキャン角度 (度)	40°	40°	40°	40°	40°
ローター慣性モーメント (gm・cm2、±10%)	0.97	0.82	2.4	15.6	47.5
トルク定数 (dyne・cm/amp、±10%)	1.31x105	1.11x105	2.0x105	7.08x105	8.5x105
ローター最高温度 (°C)	110	110	110	110	110
熱抵抗 (ローターからケースまで) (°C/ワット、最大)	0.8	1.0	0.62	0.35	0.2
コイル抵抗 (オーム、±10%)	1.07	1.27	1.03	1.69	0.60
コイルインダクタンス (ΩH、±10%)	173	176	350	1030	530
逆起電力電圧 (ΩV/°/秒、±10%)	229	195	346	1220	1480年
RMS 電流 (A、Tcase = 50°C、最大)	7.1	5.8	8.2	7.1	12
ピーク電流 (A、最大)	25	25	25	20	40
小角度ステップ応答1 (標準)	10mmミラー 250us	10mm Yミラー 250us	15mm Yミラー 350us	50mm Yミラー 3ms	50mm Yミラー 2.1ms
重量 (グラム、標準)	267	142	356	590	1200
寸法(mm)	33×70	33x68.2	33x86.5	40.6x113.4	40.6x159.9

位置検出器（全モデル共通仕様）：

直線性	99.9% 最小、20°以上。99.5% (代表値)、40°以上
スケールドリフト	50 ppm/℃、最大
ゼロドリフト	15 Ωrad/°C、最大
再現性、短期	8Ωrad
出力信号、コモンモード	最小 155 ΩA、AGC 電流 30 mA
出力信号、差動モード	155 ΩAのコモンモード電流で12 ΩA/° (±2.5%)
出力信号、コモンモード対ディファレンシャルモード比	12.5 (±2.5%)

(1) モデル 6210H ムービングマグネット閉ループ検流計ベースの光学スキャナ

3mm、4mm、5mm、6mm、7mmの口径をサポートします。ここでは、A コネクタと 3mm Y ミラーを使用しています。すべての位置検出器の仕様は、30 秒のウォームアップ後に当社のサーボ ドライバに適用されます。すべての角度は機械度で表されます。完全な操作手順についてはマニュアルを参照してください。
機械式

定格角変位:	40°
ローター慣性:	0.018 gm cm2、+/-10%
トルク定数:	2.79x104 ダイン cm/アンペア、+/-10%
最高ローター温度:	110℃
熱抵抗 (コイルからケースまで):	2℃/ワット、最大

電気・駆動機構

コイル抵抗:	3.72オーム、+/-10%
コイルインダクタンス:	109μH、+/-10%
逆起電力電圧:	48.7 μV/度/秒、+/-10%
RMS電流:	Tcase 50°C で 2.4 アンペア、最大
ピーク電流:	8アンペア、最大
小角度ステップの応答時間:	100 μs、3mm、Y ミラー使用、99% にセトリング

位置検出器

直線性:	99.9 %、最小、20 度以上、99.5 % 標準、40 度以上
スケールドリフト:	50 PPM/℃、最大
ゼロドリフト:	15 µrad/°C、最大
再現性、短期:	8マイクロラジアン
出力信号、コモンモード:	155 µA（AGC 電流 30mA、+/-20%）
出力信号、差動モード:	12 µA/°、コモンモード電流 155 µA、+/-20%

(2) モデル 6230H ムービングマグネット閉ループ検流計ベースの光学スキャナ

6230H 検流計は、8mm、10mm、12mm、15mm の一般的なビーム直径で、速度、サイズ、コスト、精度を考慮して設計および最適化できます。ここでは 10mm Y ミラーを使用しています。位置検出器のすべての仕様は、30 秒のウォームアップ後に当社のサーボ ドライバに適用されます。すべての角度は機械度で表されます。完全な操作手順についてはマニュアルを参照してください。

機械仕様

定格角変位:	40°
ローター慣性:	0.97 gm cm2、+/-10%
トルク定数:	1.31x105 ダイン cm/アンペア、+/-10%
最高ローター温度:	110℃の熱
抵抗 (ローターからケースまで):	0.80℃/ワット、最大

電気仕様・駆動機構

コイル抵抗:	1.07 オーム、+/-10%
コイルインダクタンス:	173uH、+/-10%
逆起電力電圧:	229 μV/度/秒、+/-10%
RMS電流:	Tcase 50°C で 7.1 アンペア、最大
ピーク電流:	25アンペア、最大
小角度ステップの応答時間:	250 μs、8mm Y ミラー使用、99% にセトリング 250 μs、10mm Y ミラー使用、99% にセトリング

位置検出器

直線性:	99.9 %、最小、20 度以上、99.5 % 標準、40 度以上
スケールドリフト:	50 PPM/℃、最大
ゼロドリフト:	15 µrad/°C、最大
再現性、短期:	8マイクロラジアン
出力信号、コモンモード:	155 µA（AGC 電流 30mA、+/-20%）
出力信号、差動モード:	11.7 µA/°、コモンモード電流 155 µA、+/-20%

• 6230HM50A MiniCT スプリット ケーブル 671XX コネクタ、12 インチ ケーブル、光学角度 ±25 度。Mxx は最大光学度を示します。
• 6230HB と 67723H は動作します
• 6230H と 67123H およびアダプター ケーブル 6010-20-xxx は動作します。
• 671 を備えた 6230HA は機能します。

注: ガルバノとドライブボードのコネクタが一致していない場合、それらを一致させるためにアダプターケーブルが必要です。たとえば、6230HB を 67123H で使用する場合は、アダプタ ケーブルが必要です。

(3) モデル 6231HC 可動磁石閉ループ検流計ベースの光学スキャナ

6231H は、8mm、10mm、12mm、15mm の口径をサポートします。ここでは C コネクタと 10mm Y ミラーを使用して示しています。位置検出器のすべての仕様は、30 秒のウォームアップ後に当社のサーボ ドライバに適用されます。すべての角度は機械度で表されます。完全な操作手順についてはマニュアルを参照してください。
機械式

定格角変位:	40°
ローター慣性:	0.82 gm cm2、+/-10%
トルク定数:	1.11x105 ダイン cm/アンペア、+/-10%
最高ローター温度:	110℃
熱抵抗 (ローターからケースまで):	1℃/ワット、最大

電気・駆動機構

コイル抵抗:	1.27 オーム、+/-10%
コイルインダクタンス:	176μH、+/-10%
逆起電力電圧:	195 μV/度/秒、+/-10%
RMS電流:	Tcase 50°C で 5.8 アンペア、最大
ピーク電流:	25アンペア、最大
小角度ステップの応答時間:	250 μs、平衡荷重 0.3 gm*cm2 の場合

位置検出器

直線性:	99.9 %、最小、20 度以上、99.5 % 標準、40 度以上
スケールドリフト:	50 PPM/℃、最大
ゼロドリフト:	15 µrad/°C、最大
再現性、短期:	8マイクロラジアン
出力信号、コモンモード:	155 µA（AGC 電流 30mA、+/-20%）
出力信号、差動モード:	11.7 µA/°、コモンモード電流 155 µA、+/-20%

(4) モデル 6231HB 可動磁石閉ループ検流計ベースの光学スキャナ

機械仕様
光学絞り、2 軸、標準	8、10、12	んん
定格角変位	40	°
ローター慣性	0.82	gm*cm2、+/-10%
トルク定数	11,100	ダインセンチメートル/アンペア、+/- 10%
最高コイル温度	110	℃
熱抵抗（コイルからケースまで）	1.0	℃/ワット、最大
電気仕様 駆動機構
コイル抵抗	1.27	オーム、+/- 10%
コイルのインダクタンス	176	ΩH、+/- 10%
逆起電力電圧	195	mV/度/秒、+/- 10%
実効値電流	5.8	アンペア（Tcase 50℃、最大）
ピーク電流	25	アンペア、最大
小角度ステップ応答時間	0.25	ms、平衡荷重 0.3 gm*cm2
位置検出器
直線性	99.99	最低でも20度以上
スケールドリフト	50	PPM/℃、最大
ゼロドリフト	15	Ωrad/℃、最大
再現性、短期	8	マイクロラジアン
出力信号、コモンモード	155	ΩA (AGC 電流 30 mA、+/-20%)
出力信号、差動モード	11.7	ΩA/°、コモンモード電流 155 ΩA、+/-20%
運転者	67723

(5) モデル 6240H ムービングマグネット閉ループ検流計ベースの光学スキャナ

6240H 検流計は、一般的なビーム直径 12mm、15mm、20mm、25mm、および 30mm で、速度、サイズ、コスト、精度を考慮して設計および最適化できます。ここでは 12mm Y ミラーを使用しています。位置検出器のすべての仕様は、30 秒のウォームアップ後に当社のサーボ ドライバに適用されます。すべての角度は機械度です。完全な操作手順についてはマニュアルを参照してください。
機械仕様

定格角変位:	40°
ローター慣性:	2.4 gm cm2、+/-10%
トルク定数:	2.0x105 ダイン cm/アンペア、+/-10%
最大コイル温度:	110℃
熱抵抗 (コイルからケースまで):	0.62℃/ワット、最大

電気仕様・駆動機構

コイル抵抗:	1.03オーム、+/-10%
コイルインダクタンス:	350μH、+/-10%
逆起電力電圧:	346 μV/度/秒、+/-10%
RMS電流:	Tcase 50°C で 8.2 アンペア、最大
ピーク電流:	25アンペア、最大
小角度ステップの応答時間:	300 μs、12mm Y ミラー使用、99% にセトリング 350μs、15mm Y ミラー使用、99% にセトリング 650 μs、20mm Y ミラー使用、99% にセトリング

位置検出器

直線性:	99.9 %、最小、20 度以上、99.5 % 標準、40 度以上
スケールドリフト:	50 PPM/℃、最大
ゼロドリフト:	15 µrad/°C、最大
再現性、短期:	8マイクロラジアン
出力信号、コモンモード:	155 µA（AGC 電流 30mA、+/-20%）
出力信号、差動モード:	11.7 µA/°、コモンモード電流 155 µA、+/-20%

1.2 83xxK シリーズ光学式検流計

当社の 83xxK シリーズ スキャナは、62xxH シリーズの速度と信頼性を基盤としており、最も要求の厳しい高精度アプリケーション向けにさらに高い解像度と熱安定性を備えています。各モデルには、クラス最高の可動磁石アクチュエータ技術と、ケンブリッジ テクノロジーのみが提供する強化された位置検出器が含まれています。ドリフトとノイズが低い 83xxK シリーズは、微細加工などの精密な機能を必要とするアプリケーションや、安定性が重要な大規模現場アプリケーションに最適です。
最高レベルのスキャン精度、速度、信頼性を実現します。

• 業界最速のモーター速度、さらに高い分解能と安定性
• 高品質の処理出力を保証する優れた精度と精度
• 堅牢な設計により、長い製品寿命にわたって一貫した信頼性をサポート
• コンパクトなモデルの設置面積により、狭いスペースでも簡単にシステム統合が可能
• 幅広いミラー サイズ (3 ～ 50 mm) とコーティング オプションが利用可能

部品番号	8300H	8310H	8315H	8320H
推奨口径サイズ(mm)	3～7	3～7	3～7	5～10
波長オプション	355 nm / 532 nm / 1030 nm - 1080 nm / 9.4 Ωm - 10.6 Ωm 広帯域コーティング: 350 nm – 12 Ωm
最大スキャン角度 (度)	40°	40°	40°	40°
ローター慣性モーメント (gm・cm2、±10%)	0.013	0.018	0.028	0.125
トルク定数 (dyne・cm/amp、±10%)	1.20x104	2.79x104	3.78x104	6.17x104
ローター最高温度 (°C)	110°	110°	110°	110°
熱抵抗 (ローターからケースまで) (°C/ワット、最大)	3.8	2.0	1.0	1.0
コイル抵抗 (オーム、±10%)	2.14	3.7	2.5	2.79
コイルインダクタンス (ΩH、±10%)	52	109	94	180
逆起電力電圧 (ΩV/°/秒、±10%)	20.9	48.7	66	108
RMS 電流 (A、Tcase = 50°C、最大)	2.3	2.4	4.1	3.9
ピーク電流 (A、最大)	6	8	20	20
小角度ステップ応答1 (標準)	3mm Yミラー 130Ω	3mm Yミラー 100Ω	3mm Yミラー 130Ω	5mm Yミラー 250Ω
重量 (グラム、標準)	13.3	18	25.8	42.5
寸法(mm)	12.7x29	12.7x37.3	12.7x53.8	15.3x52

部品番号	8330H	8331H	8340H	8350H	8360H
推奨口径サイズ(mm)	8～15	8～15	12～25	25～75	30～100
波長オプション	355 nm / 532 nm / 1030 nm - 1080 nm / 9.4 Ωm - 10.6 Ωm 広帯域コーティング: 350 nm – 12 Ωm
最大スキャン角度 (度)	40°	40°	40°	40°	40°
ローター慣性モーメント (gm・cm2、±10%)	0.97	0.82	2.4	15.6	47.5
トルク定数 (dyne・cm/amp、±10%)	1.31x105	1.11x105	2.0x105	7.08x105	8.5x105
ローター最高温度 (°C)	110	110	110	110	110
熱抵抗 (ローターからケースまで) (°C/ワット、最大)	0.8	1.0	0.62	0.35	0.2
コイル抵抗 (オーム、±10%)	1.07	1.27	1.03	1.69	0.60
コイルインダクタンス (ΩH、±10%)	173	176	350	1030	530
逆起電力電圧 (ΩV/°/秒、±10%)	229	195	346	1220	1480年
RMS 電流 (A、Tcase = 50°C、最大)	7.1	5.8	8.2	7.1	12
ピーク電流 (A、最大)	25	25	25	20	40
小角度ステップ応答1 (標準)	10mmミラー 250us	10mm Yミラー 250us	15mm Yミラー 350us	50mm Yミラー 3ms	50mm Yミラー 2.1ms
重量 (グラム、標準)	267	142	356	590	1200
寸法(mm)	33×73	33x68.2	33x86.5	40.6x113.4	40.6x159.9

位置検出器（全モデル共通仕様）：

直線性	99.9% 最小、20°以上。99.5% (代表値)、40°以上
スケールドリフト	15 ppm/℃、最大
ゼロドリフト	5 Ωrad/°C、最大
再現性、短期	8Ωrad
出力信号、コモンモード	最小 283 ΩA、AGC 電流 60 mA
出力信号、差動モード	283 ΩAのコモンモード電流で22.6ΩA/° (±2.5%)
出力信号、コモンモード対ディファレンシャルモード比	12.5 (±2.5%)

1.3 モデル 6870 ムービングマグネット容量性位置検出器光学スキャナ

12mm および 15mm のビーム口径をサポートします。位置検出器のすべての仕様は、30 秒のウォームアップ後に当社のサーボ ドライバに適用されます。すべての角度は機械度です。完全な操作手順についてはマニュアルを参照してください。
機械仕様

定格角変位:	40°
ローター慣性:	2.0 gm*cm2、+/-10%
トルク定数:	1.8X105ダインcm/アンペア、+/-10%
最大コイル温度:	110℃
熱抵抗 (コイルからケースまで):	1.0℃/ワット、最大
寸法	40.6×73.2mm

電気仕様・駆動機構

コイル抵抗:	1.4 オーム、+/-10%
コイルインダクタンス:	275uH、+/-10%
逆起電力電圧:	0.3mV/度/秒、+/-10%
RMS電流:	Tcase 50°C で 5.3 アンペア、最大
ピーク電流:	25アンペア、最大
小角度ステップの応答時間:	0.7ms、バランスのとれた2.0gm*cm2負荷時

位置検出器

直線性:	99.9%、最小、40度以上
スケールドリフト:	50PPM/℃、最大
ゼロドリフト:	15マイクロラジアン/℃、最大
再現性、短期:	8マイクロラジアン
出力信号、コモンモード:	585 マイクロアンペア、AGC 電圧 10VDC、+/-20%
出力信号、差動モード:	14.5 µA/度、コモンモード電流 585 µA、+/-20%

1.4 モデル 6880 ムービングマグネット容量性位置検出器光学スキャナ

20 mm および 30 mm のビーム口径をサポートします。

• 6880 は D-sub 9 コネクタと +/-40o 光学式を備えています
• 6880A には、MiniCT スプリット ケーブルと +/-40 ° 光学式が備わっています。
• 6880M は D-sub 9 コネクタと +/-20o 光学式を備えています
• 6880MA には MiniCT スプリット ケーブルと +/-20 ° 光学式が備わっています。
• 6880M140 は D-sub 9 コネクタと +/-60o 光学式を備えています
• 6880MA140 には MiniCT スプリット ケーブルと +/-60 ° 光学式が備わっています。

位置検出器のすべての仕様は、30 秒のウォームアップ後に当社のサーボ ドライバに適用されます。すべての角度は機械度で表されます。完全な操作手順についてはマニュアルを参照してください。
機械仕様

定格角変位:	40°
ローター慣性:	6.4 gm*cm2、+/-10%
トルク定数:	2.54X105ダインcm/アンペア、+/-10%
最大コイル温度:	110℃
熱抵抗 (コイルからケースまで):	0.75℃/ワット、最大
寸法	40.6×75.1mm

電気仕様・駆動機構

コイル抵抗:	1.0オーム、+/-10%
コイルインダクタンス:	280uH、+/-10%
逆起電力電圧:	0.44mV/度/秒、+/-10%
RMS電流:	Tcase 50°C で 7.5 アンペア、最大
ピーク電流:	25アンペア、最大
小角度ステップの応答時間:	0.9ms、バランスの取れた慣性が負荷された場合

位置検出器

直線性:	99.9%、最小、40度以上
スケールドリフト:	50PPM/℃、最大
ゼロドリフト:	10マイクロラジアン/℃、最大
再現性、短期:	8マイクロラジアン
出力信号、コモンモード:	970 マイクロアンペア、AGC 電圧 10VDC、+/-20%
出力信号、差動モード:	22 µA/度、コモンモード電流 970 µA、+/- 20%

1.5 モデル 6450 可動コイル閉ループ検流計ベースの容量性位置検出器付き光学スキャナ

12mmの口径をサポートします。位置検出器のすべての仕様は、30 秒のウォームアップ後に当社のサーボ ドライバに適用されます。すべての角度は機械度で表されます。完全な操作手順についてはマニュアルを参照してください。
機械仕様

定格角変位:	40°
ローター慣性:	2.3 gm*cm2、+/-10%
トルク定数:	0.45X106ダインcm/アンペア、+/-10%
最大コイル温度:	150℃
熱抵抗 (コイルからケースまで):	5.0℃/ワット、最大
寸法	41.2×108.2mm

電気仕様・駆動機構

コイル抵抗:	4.0オーム、+/-10%
コイルインダクタンス:	450uH、+/-10%
逆起電力電圧:	0.8mV/度/秒、+/-10%
RMS電流:	Tcase 50°C で 1.8 アンペア、最大
ピーク電流:	6.0アンペア、最大
小角度ステップの応答時間:	2.0ms、バランスの取れた慣性が負荷された場合

位置検出器

直線性:	99.9%、最小、40度以上
スケールドリフト:	50PPM/℃、最大
ゼロドリフト:	15マイクロラジアン/℃、最大
再現性、短期:	2マイクロラジアン
出力信号、コモンモード:	970 マイクロアンペア、AGC 電圧 10VDC、+/-20%
出力信号、差動モード:	21.5 µA/度、コモンモード電流 970 µA、+/-20%

ドライバー: 67045

2. サーボエレクトロニクス

当社のパフォーマンス PID ドライバーは、コンパクト、二軸、高出力構成で利用できるフル機能のサーボです。精度とパワーの両方を実現する当社のドライバー ソリューションは、高い再現性、直線性、安定性を備えた高速速度を必要とする最も要求の厳しいアプリケーションでもサポートします。サイズ、性能、柔軟性の組み合わせにより、当社のアナログ サーボは統合スキャン システムにとって理想的な選択肢となります。
コンパクトなサイズで最大の駆動力を備えたパフォーマンスの価値を実現

• 最大のスループットを可能にする安定性と高帯域幅制御を目的とした設計
• コンパクトな製品サイズにより、複雑なシステム内で柔軟かつ簡単に統合できます
• オンボード保護回路により、評価および動作中に信頼性が確保されます。
• 検流計の位置、エラー、速度信号用の便利な出力が含まれています
• Cambridge Technology スキャン製品により完全に最適化されたパフォーマンス

2,1 アナログ サーボ ドライバー

(1) 671、672、673の一覧と比較

部品番号	671シリーズシングル	672シリーズシングル	673シリーズデュアル
出力段	ディファレンシャル	シングルエンド	ディファレンシャル
アナログ入力インピーダンス	200K +/- 1% オーム (差動) 100K +/- 1% オーム (シングルエンド)	200K +/- 1% オーム (差動) 100K +/- 1% オーム (シングルエンド)	200K +/- 1% オーム (差動) 100K +/- 1% オーム (シングルエンド)
アナログ出力インピーダンス	1K +/- 1% オーム (他のすべての観測出力の場合)	1K +/- 1% オーム (他のすべての観測出力の場合)	2K +/- 1% オーム (位置出力および電流モニター観測ピンの場合) 4.75k +/- 1% オーム (他のすべての観測ピンの場合)
位置入力スケール係数	0.5 ボルト/機械角度 (2 度/ボルト)、他の構成も利用可能	0.5ボルト/機械度(40°システム)、0.67ボルト/度(30°システム)	0.5 ボルト/機械角度 (2 度/ボルト)、他の構成も利用可能
位置入力範囲	+/- 10 ボルト、最大	+/- 10 ボルト、最大	+/- 10 ボルト、最大
位置オフセット範囲	入力範囲の +/- 5% (代表値)	入力範囲の +/- 5% (代表値)	入力範囲の +/- 5% (代表値)
デジタル位置入力範囲	216 DAC カウント	該当なし	該当なし
16 ビットデジタル入力の非直線性	フルスケールの 0.006%、最大	該当なし	該当なし
位置出力スケール係数	0.5ボルト/度	0.5ボルト/度	0.5ボルト/度
エラー出力スケール係数	0.5ボルト/度	0.5ボルト/度	該当なし
速度出力スケール係数	アナログ出力 (位置微分器ゲインによってスケーリング)	アナログ出力 (位置微分器ゲインによってスケーリング)	アナログ出力 (位置微分器ゲインによってスケーリング)
障害出力	オープンコレクタ: 1K オーム出力インピーダンス (-15V までプルダウン)、10mA シンク能力付き	TTL 出力は 100k の抵抗で +5V 電源電圧にプルアップされます。ハイレベル = 2.5V、ローレベル = 0V	直列4.75kΩのCMOS出力 ハイレベル = 11.5V、ローレベル = 0.05V
電子機器の温度安定性	20ppm/℃	20ppm/℃	20ppm/℃
電源要件	+/- 15 ～ +/- 28VDC 構成が利用可能	+/- 15 ～ +/- 28VDC 構成が利用可能	+/- 15 ～ +/- 28VDC 構成が利用可能
最大駆動電流制限	10 アンペア ピーク 1 5 アンペア rms (電源と負荷に依存)	10 アンペア ピーク 5 アンペア rms (電源と負荷に依存)	10 アンペア ピーク 5 アンペア rms (電源と負荷に依存)
動作温度範囲	0～50℃	0～50℃	0～50℃
寸法 (ヒートシンクブラケット付きボード、概算、cm)	10.16×6.68×2.69cm	5.40×6.03×2.69cm	10.03×7.75×3.07cm

(2) MicroMax® モデル 677XX 単軸

特徴：

• コンパクトで低コストのシステム統合を実現する最小のサーボドライバ
• 位置、誤差、速度の出力信号
• 入力スケールとオフセット調整
• オンボード保護回路

MicroMax モデル 677XX クラス 0 非統合ドライバーは、非常にコンパクトで高性能、フル機能のサーボ パッケージを提供します。幅わずか 2 インチ、長さ 2.5 インチのこのドライバは、市販されているサーボ ドライバの中で最小のものの 1 つであり、スキャン ソリューションへの統合が容易になります。自動ゲイン制御 (AGC)、低ノイズ システム ダンピング、直線性補償、高安定性コンポーネントを備えた 677XX サーボは、高品質で安定した位置決めを提供します。

柔軟性を念頭に置いて設計された MicroMax モデル 677XX は、差動アナログ入力、柔軟な電源構成、およびシステムの位置決め角度、速度、精度の最適化を可能にする位置決め制御を備えています。システムの位置、速度、エラー出力信号により、複雑なスキャン システム アプリケーションへの統合が簡単かつ正確になります。一体型の取り付けハードウェア、薄型コネクタ、および全体の小型サイズにより、簡単に統合できるコンパクトなシステム設計が可能になります。

新しい小型の MicroMax 677XX 単軸サーボ ドライバは、閉ループの検流計ベースの光学スキャナの 6200 および 6800 シリーズで最適なパフォーマンスを実現するように構成できます。MicroMax 677XX は、特許取得済みの位置検出検流計技術と併用することで、熱補償を必要とせずに時間と温度の安定性が向上します。オンボード保護回路により、統合および動作中に信頼性の高いシステム制御が保証されます。安全な動作と製品寿命の延長を保証するために、MicroMax 677XX は検流計の実効値電力を監視および制御し、システム保護を強化するためのソケット付きヒューズを備えています。また、サーボ信号調整を利用して、定格角度偏位制限内で制御されたパフォーマンスを維持します。このサイズ、柔軟性、価格の組み合わせにより、MicroMax モデル 677XX は、最もコンパクトな環境で高レベルの速度とパフォーマンスが必要な場合に理想的な選択肢となります。

仕様:

アナログ入力インピーダンス	400K +/-1% オーム (差動)
	200K +/-1% オーム (シングルエンド)
アナログ出力インピーダンス	1K +/-1% オーム (他のすべての観測出力の場合)
位置入力スケール係数	0.5 ボルト/機械角度 (40° システム)、0.67 ボルト/機械角度 (30° システム)
位置入力範囲	+/-10 ボルト、最大
位置オフセット範囲	+/-10ボルト
位置出力スケール係数	0.5ボルト/度
エラー出力スケール係数	0.5ボルト/度
速度出力スケール係数	アナログ出力 (位置微分器ゲインによってスケーリング)
電源要件	+/-15 ～ +/-28VDC 構成が利用可能
最大駆動電流制限	10 アンペア ピーク、5 アンペア rms (電源と負荷に依存)
動作温度範囲	0～50℃
サイズ	5.08cm×6.35cm×2.69cm

677 サーボボードは、以下に詳しく説明するように、さまざまな構成で利用できます。

(3) MicroMax® モデル 673XX 2 軸

MicroMax® モデル 673XX 2 軸ドライバー ボード: 当社の 2 軸サーボは、統合または非統合サーボ ループ構成、エラーおよび/またはスルー レート入力信号調整、および最高の再現性と直線性を要求するアプリケーションでの極めて正確な位置決めのための高安定性コンポーネントを提供します。 、非常にコンパクトなシステムでの安定性とコスト。673XX の薄型コネクタと 2 軸設計により、あらゆるシステムへの統合が容易になり、また、内蔵のシステム調整およびステータス監視により、完全かつ信頼性の高いシステム制御が保証されます。

(4) サーボ ドライバー MicroMax® 671XX 単軸

MicroMax® 671XX ドライバー ボード: 当社の高度なサーボ トポロジとクラス 1 エラー統合の可用性により、コンパクトな単軸構成で優れた位置決め再現性、精度、安定性が実現します。安定性の高いコンポーネントは、優れた時間および温度安定性を実現します。組み込みのシステム調整およびステータス監視により、統合および運用中の完全かつ信頼性の高いシステム制御が保証されます。
671 および 670 サーボ ドライバーにはデジタル入力オプションが用意されています。モデル 6757 パラレル デジタル インターフェイスは、MicroMax サーボ コントローラーに取り付けるモジュールです。これにより、ユーザーは 16 ビットのパラレル デジタル位置コマンドを提供できるようになります。また、ユーザーが 1 つの 16 ビット データ バスを使用して各入力モジュールをアドレス指定して制御できるようにする 4 つの制御ラインもあります。サーボ ドライバは、デジタル位置コマンド制御とアナログ位置コマンド制御を切り替えるように簡単に設定できます。各モジュールには、嵌合シングルエンド ケーブルが付属しています。スキャナーごとに 1 つのモジュールが必要です。これはオプションであり、デジタル コマンドが使用されている場合にのみ必要です。このオプションは後で簡単に追加できます。

671 サーボボードは、以下に詳しく説明するように、さまざまな構成で利用できます。

(5) サーボ ドライバー MicroMax® 670XX 単軸

今日の光学システムの複雑さと仕様要件が高まるにつれて、高性能、高精度、コンパクトなミラー位置決めシステムの必要性も高まっています。MicroMaxTM シリーズ 670 システムは、高性能仕様を必要とするアプリケーション向けに設計されました。

シリーズ 670 単軸ボードレベル ミラー位置決めシステムは、

2.50 インチ x 4.00 インチのボード上のシングルチャンネル サーボ アンプと高性能スキャナー。このスキャナは特定の範囲の慣性負荷向けに設計されており、0.001 gm-cm2 未満から 100,000 gm-cm2 を超える慣性を持つミラーを正確に制御できます。

すべての角度は機械度です。すべての仕様は、1 分間のウォームアップ期間後に適用されます。

アナログ入力インピーダンス	200K + 1% オーム (差動); 100K + 1% オーム (シングルエンド)
位置出力インピーダンス	1K + 1% オーム (すべての観測出力に対して)
位置入力スケール係数	0.5ボルト/o (2o/ボルト)
アナログ位置入力範囲	+ 最大 10 ボルト
デジタル位置入力範囲	216 DAC カウント
16 ビットデジタル入力の非直線性	フルスケールの 0.006%、最大
位置オフセット範囲	+2ボルト
位置出力スケール係数	0.5ボルト/o
エラー出力スケール係数	0.5ボルト/o
速度出力スケール係数	アナログ (位置微分器ゲインによってスケール)
障害出力	オープンコレクタ、1K オーム出力インピーダンス (-15V までプルダウン)、10mA シンク機能付き
電子機器の温度安定性	20PPM/℃
入力電圧要件	+/-15 ～ +/-28VDC (電流はモーター構成によって異なります)
最大駆動電流制限、ピーク	10アンペア
最大駆動電流制限、RMS	5 アンペア (電源、負荷、ヒートシンクに依存します。)
動作温度範囲	0～50℃
サイズ	4.0インチ x 2.インチ x 1.06インチ;10.16cm×6.35cm×2.69cm
重さ	3.07オンス（87グラム）

2.2 デジタルサーボドライバー

当社のデジタル サーボ ドライバーは、自己校正、状態空間制御、およびコマンド入力の最適化を備えており、最高の速度と精度が要求されるスキャン アプリケーションに最適な機能です。ドライバーの特許取得済みテクノロジーは、システムの電源を入れるたびにスキャン コンポーネントを特徴づけるオンボード プロセッサーにより、最大限のシステム パフォーマンス、柔軟性、使いやすさを実現します。統合を容易にするために、当社のコンパクトな DC モデル サーボには、柔軟な電源構成、一体型取り付けハードウェア、薄型コネクタが含まれています。

統合が簡単な高性能サーボを使用して完全な制御を実現

• モーションコントロールを最適化するためのシミュレーションベースのプレフィルタリングアルゴリズム
• セルフチューニングとスタートアップキャリブレーションにより、システムの製造コストが削減されます
• 簡素化されたフィールドサービスにより、コスト削減とシステム稼働時間が増加します
• コンパクトで柔軟なサーボの設置面積は、複雑なシステム内で簡単に構成できます
• Cambridge Technology スキャン製品によって提供される最適化されたパフォーマンス

部品番号	DC900モデル	DC2000モデル	DC3000Plusモデル（低騒音）
軸数	シングル	デュアル	デュアル
コマンド入力	アナログ (±5V 差動、±10V シングルエンド) XY2-100 高速シリアル デジタル	XY2-100 高速シリアルデジタル	XY2-100 高速シリアルデジタル
アナログ入力インピーダンス	400K +/-1% オーム (差動) 200K +/-1% オーム (シングルエンド)	—	—
アナログ出力インピーダンス	1K +/-1% オーム (すべての観測出力に対して)	OPA2227 の未終端出力、<1Ω	OPA2227 の未終端出力、<1Ω
位置入力スケール係数	0.50 ボルト/度 (40 度システム) 0.67 ボルト/度 (30 度システム) 1.00 ボルト/度 (20 度システム)	—	—
アナログ位置入力範囲	最大 +/- 10 ボルト	—	—
位置出力スケール係数	0.5ボルト/度	0.333V/度非差動	0.333V/度非差動
電源要件	+/-15 ～ +/-32VDC 構成が利用可能	+/-15 ～ +/-32VDC 構成が利用可能	+/-15 ～ +/-28VDC 構成が利用可能
最大駆動電流制限	8 アンペア ピーク、5 アンペア rms (電源と負荷に依存)	10 アンペア ピーク、2.5 アンペア rms (軸あたり) (電源と負荷に依存)	20 アンペア ピーク、5 アンペア rms (軸あたり) (電源と負荷に依存)
静止電力	15W	16W	11.5W
ディザ（RMS）	8Ωrad	7Ωrad	4Ωrad
動作温度範囲	0～50℃	0～50℃	0～50℃
寸法1	5.14×10.48×4.45cm	10.50×7.50×6.44cm	10.50×7.50×6.44cm

CTI シリーズガルバノの詳細については、こちらをご覧ください。ここからダウンロード。