メタレンズは,長距離の焦点深度を提供し,様々な非平面物体を簡単かつ正確にマークし処理できるため,レーザー処理に非常に適しています.
伝統的なf-thetaマークシステムと比較して,メタレンズマークシステムは以下の利点があります.
適したメタレンスの選択は主にレーザー波長,光口 (激光射線直径),有効焦点距離,焦点深さ,焦点点直径,レーザー電源を考慮する.レーザーの電力は約50Wメタレンは,塗装を必要とせずに安定して動作できます.マークエリアのサイズに基づいて有効な焦点距離を選択します.焦点距離が長ければ大きいほど,マークエリアは大きくなります.焦点が大きいほどしたがって,合理的な有効焦点距離を選択することが必要です.
メタレンから第2のスキャニングミラーまでの距離が L1 と仮定すると,第2のスキャニングミラーから作業面までの距離は L2 と仮定します.メタレンの有効焦点距離はEFLです,EFL=L1+L2.電磁気計の最大スキャン角が θ である場合,中心焦点と縁焦点の間の距離はマークエリアの半径Rである,R=TAN(θ) * L2,R,最外端のデフォクスの量は L3 と呼ばれる L3=L2/COSIN(θ) - L2焦点の深さの1/2未満で,焦点平面の標識と同じくらい明確で均一でなければならない.
方形マークエリアの横の長さとガルバノメーターの最大スキャニング光学角が ± 20°であると仮定し,L1=50mmとする.メタレン ± L3 の中心波長とデフォクスの量を下記の表のように計算する.メタレンの効果的焦点距離EFLを選択する際には,メタレンから第二のスキャニングミラーまでの距離であるL1も考慮する必要があります.メタレンスの有効焦点距離 EFL=L1+L2.
標識面の横の長さ mm |
標識エリア半径 R mm |
最大スキャン角度 θ |
L2 mm |
効果的な焦点距離 EFL mm |
焦点が消える L3 mm |
50×50 | 35.36 | 0.35 | 97.14 | 147.14 | 6.23 |
75×75 | 53.03 | 0.35 | 145.71 | 195.71 | 9.35 |
100×100 | 70.71 | 0.35 | 194.28 | 244.28 | 12.47 |
125×125 | 88.39 | 0.35 | 242.84 | 292.84 | 15.59 |
150×150 | 106.07 | 0.35 | 291.41 | 341.41 | 18.70 |
200×200 | 141.42 | 0.35 | 388.55 | 438.55 | 24.94 |
250×250 | 176.78 | 0.35 | 485.69 | 535.69 | 31.17 |
300×300 | 212.13 | 0.35 | 582.83 | 632.83 | 37.40 |
350×350 | 247.49 | 0.35 | 679.97 | 729.97 | 43.64 |
400×400 | 282.84 | 0.35 | 777.10 | 827.10 | 49.87 |
下の図は,マーク表面とメタレンとの間の異なる距離でのマーク効果を示し,最大75mmのデフォクスを示しています.マークははっきりしています.
次の表は,当社の製品の一部のパラメータの範囲を示しています.
波長 | 効果的な焦点距離 EFL | 焦点深さ (DOF) | 直径 | スポットサイズ |
355 nm | 25〜100mm | 2550mm | 3〜6mm | 25〜250ミリ |
532 nm | 25〜100mm | 2550mm | 3〜6mm | 25〜250ミリ |
1064 nm | 25〜100mm | 2550mm | 3〜6mm | 25〜250ミリ |
10.6 um | 25〜100mm | 2550mm | 3〜6mm | 50〜250ミリ |
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