材料加工
材料加工の分野では,ピコ秒パルスレーザーは,ナノ秒ラザーよりも優れた新しいツールと考えられています.ピコ秒パルスを使用することで,材料の熱損傷が軽減されます.レーザーが製造業により広く浸透できるようにする標識,掘削,切削など
それにもかかわらず,フェムト秒レーザー技術の特徴と材料加工の重要な改善により,フェムト秒レーザーは多くのアプリケーションで必要なツールになりました.一般的にはフレムト秒パルスレーザーの熱影響区域の減少は他のレーザーでは同等ではない.
シリコン・ウェーバーを切るのにフェムト秒レーザーの応用は常に大きな関心がありましたフレムト秒レーザーパルスによるピークパワーは,シリコンウエファーやシリコンウエファの表面に堆積された他の材料を溶かすのに使用できるため通常,これらのシリコンウエファは切断チャネルを事前に構成されています.これらのチャネルは,チップのセグメント化前に検出とテストのためにも使用されます切断チャネルはセンサーと検出点で満たされています.フレムト秒ビームは,シリコンウエフルの目に見えない切断をサポートしながら,それらの表面層を削除するために使用されます固く透明なサファイア基板にフェムト秒レーザーパルス 独特の強い非線形吸収によりフェムト秒レーザーは,非常に明るいLEDチップをサファイア・ウェーファーから分離するための理想的な選択でもあります.
ガラス加工
消費者電子機器産業におけるガラスの切断と加工の主な方法は常に機械的方法であった.グラスを加工するためにフェムト秒パルスレーザーの応用が増加しています穴を掘るという方法は,光束をフェムト秒で利用してガラスを照射し,屈折率の変化を起こす例です.その後,ガラスは,放射線を受けたエリアを削除するために酸風呂でエッチされますこれらのコンポーネントは,高密度で高速なチップ接続構造を生成するためにマルチチッププラットフォームで使用され,ICの垂直統合が可能になります.
別の応用は,導電性インジアムチナオキシド (ITO) フィルム,電多色フィルム,その他のフィルムの処理に類似した,ガラスにパターンを彫り,薄いフィルムを取り除くことです.
ガラスの溶接も 粘着剤や補填剤を使わないので 興味深い話題です内部汚染や脱ガスの問題を排除するため,マイクロ電子包装産業にとって非常に重要です.このプロセスでは,この不必要な物質を吸収するために,特に添加された物質が使用されます.2つのガラスパーツが光学接触し,フェムト秒レーザービームにさらされる: フェムト秒パルス のピーク パワーは,ガラスの多光子吸収を引き起こし,局所的にガラスを溶解し,それによって2つの部分を溶接し,長期にわたるガスシールを生成します.
自動車産業
製造産業におけるフェムト秒パルスレーザーの応用は,引き続き発展し拡大する.高い安定性,信頼性,自動車産業に求められているイノベーション自動車業界から多くの注目を集めている.例えば,現在,フェムト秒レーザーは,エンジン部品 (ピストンを含む) の大規模加工に使用されています..
自動車の燃料効率を改善するための取り組みは,車両の重量を削減し,運用効率を向上させるための取り組みを推進しています.摩擦を軽減し耐久性を向上させるため,移動部品に表面の質感とワイヤリングが適用されます. これらの合金の使用は,磨きを軽減し,使用寿命を延長するためのエンジニアリングソリューションを緊急に必要としています.長パルスレーザーマーキングと表面ショットブレーシング,フェムト秒レーザークロスワイヤリングは,関連するオイルフィルムを効果的に拡散し,オイル保持を大幅に改善することができます.
質感は通常,ピストンのスカート領域に適用されます.結果は,2000rpmの速度で摩擦を最大25%まで減少させることが示されています.フェムト秒レーザーの使用は,マークエリアでブールの形成を避ける製造効率をさらに向上させる.
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